中研院推量子晶片發展　國內首座製程研發平台揭牌

中央研究院今天在南部院區發表量子電腦晶片製程科學研發成果，成功以8吋晶圓機台製作高品質超導量子位元，並為國內首座量子晶片製程研發平台與量子計算測試平台揭牌。

中研院長廖俊智在揭牌儀式致詞表示，量子科學在國際間發展迅速，須同時投入高階製程研發人力及尖端硬體設施，量子電腦瓶頸在於製程穩定性及優化，缺乏可量化高品質製程，中研院目前已驗證至少3種不同製程。

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廖俊智指出，中研院設置的兩項重要量子設施將開放全國學研界合作使用，希望藉由資源整合與平台共享效益，推動量子科技發展，並吸引更多優秀人才投入量子關鍵領域研究，落實「量子國家隊」精神。

中研院關鍵議題研究中心量子電腦專題中心執行長陳啟東表示，隨量子位元持續增加，量子晶片製程控制與均勻性要求日益嚴格，台灣雖在半導體晶片製程獨步全球，但半導體晶片與量子晶片製程及需求有顯著差異，突破製程穩定度與均勻性的技術關卡為當前量子電腦面臨關鍵挑戰。

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陳啟東指出，中研院團隊過去3年主導相關研究計畫，除了在傳統4吋機台上成功驗證尖端超導量子位元製程，並達到國際水準以外，同時與工研院電光所及國研院半導體中心密切合作，進一步在自動化8吋機台上，成功開發數種超導量子位元新式製程。

他說，此次中研院在南部院區建置全新8吋晶圓製程研發與量子計算設施平台，達成國內量子晶片研發重要里程碑。

關鍵議題研究中心助研究員柯忠廷表示，團隊已開發並測試多種晶片封裝與電磁屏蔽設計，能提供低雜訊、高精度量測環境，有效提升量子晶片的性能與穩定度，未來也將開放5位元超導量子處理器，供上層軟體堆疊研發使用。

中研院提供資料指出，今日揭牌的「量子晶片製程研發平台」（QC-Fab, Quantum Chip Fabrication Space），為國內首座專為製造超導量子晶片所建構的8吋製程平台設施，具完善製程能力與即時檢測設備，可支援各類型超導量子位元製程開發，以及高品質超導量子晶片與參數放大器研發，團隊將持續發展與建立三維堆疊製程技術，以打造多量子位元晶片為目標。

中研院指出，「量子計算測試平台」（QC-Test, Quantum Computing Test Space）則建置多套完整低溫量測系統，配備高速、高精度量測儀器與自動化控制，能快速最佳化量子邏輯閘操作，降低人力訓練成本。

（中央社）