台積電供應鏈拉警報！「三氟化氮供應廠」爆炸釀1死　恐衝擊AI晶片產能

記者張書翰／綜合報導

台積電三氟化氮的重要供應商日本關東電化工業株式會社，日前驚傳生產設施爆炸並引發火災，造成1死1傷。外界憂心，這起事故恐導致半導體產業出現供應鏈斷鏈危機，因為關東電化的三氟化氮占日本總產量高達9成，客戶名單包含台積電、三星及日商鎧俠（Kioxia）等多家大廠。

三氟化氮（NF3）是一種低毒性氣體，主要用於清潔半導體晶片、TFT-LCD液晶薄膜及太陽能電池等電子組件，是科技業不可或缺的重要材料。但同時它也是強效溫室氣體，可能對環境造成一定的影響。

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《彭博社》報導指出，關東電化澀川廠（位於日本群馬縣）有兩條產線，其中一條因火災部分受損，並被當局勒令暫時停業。《日刊工業新聞》則指出，台積電熊本廠、美光（Micron）、三星、鎧俠與Sony等客戶可能受影響；鎧俠與Sony甚至已向南韓採購三氟化氮因應。

岩井Cosmo證券分析師齋藤和義（Kazuyoshi Saito）分析，如果澀川廠長期關閉，恐讓AI晶片等高端製造大廠面臨產能吃緊的壓力。

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